清洗晶圆片，我们都用什么样的刷子？ ————CMP后清洗关键高端耗材：科睿迅高纯PVA清洗刷辊

 

 

一、CMP介绍

随着科技发展，芯片广泛应用于各个领域，为了实现各类繁复功能，通常需要在芯片上排布数公里的导线和上千万乃至上亿的晶体管（显微镜下见下图），制作难度不亚于在一平方厘米的平台上建造一座城市。

 

为了实现每道工艺的精确性和可靠性，需要确保晶圆表面的平坦化。CMP（化学机械抛光）作为其中的关键技术，利用化学腐蚀和机械摩擦，去除晶圆表面的微小不规则。

CMP过程可能会在晶圆表面留下各种污染物，包括抛光液中的磨料颗粒、化学残留物等。这些残留物如果不被彻底清除，将直接影响芯片的可靠性和寿命，因此CMP后清洗环节至关重要。而如何在彻底清除残留物的同时，保证晶圆表面不被划伤也成为需要考虑的问题。

二、PVA清洗刷辊

PVA，又名聚乙烯醇，发泡后内部形成相互连通的多孔结构。吸水性强，吸水后柔软且富有弹性，可有效移除清洁表面附着的颗粒，同时不产生划痕；自身洁净度高，无颗粒掉落，本身不会对清洁表面造成污染；优异的耐化学性和防静电性，可适应半导体制造工艺中使用的各种化学品，因此被广泛用于半导体制造的各个阶段，包括晶圆清洗、设备维护和洁净室表面清洗等。

PVA清洗刷辊由PVA棉与内杆组成：内杆与机台相连，通过其中空结构及表面出水孔，将清洗液均匀分散至清洗刷；PVA棉表面有许多凸起，通过随内杆稳定旋转，将清洗液输送至晶圆表面并带走表面污染物。

三、市场现状及前景

近年来，中国半导体行业蓬勃发展，PVA清洗刷辊作为核心耗材，市场规模也增长迅速。海外为了制衡中国半导体产业的崛起，相继实施全面限制措施，海外PVA清洗刷辊的出口也逐渐呈现紧缩趋势，且存在价格歧视。目前，中国PVA清洗刷辊100%依靠进口，大陆暂无企业可实现产业化生产，国产化进程刻不容缓。

四、科睿迅——国产化半导体材料提供商

科睿迅（上海）材料科技有限公司，成立于2023年，作为创新且专注的先进半导体材料提供商，围绕各类半导体耗材提供完整解决方案。

CreationTM PVA清洗刷辊全面对标海外成熟产品，研发团队拥有30余年相关产品开发经验，可满足各类机台要求，并提供持续的产品迭代开发支持。

目前已通过CMP设备商工艺验证，稳定性等指标达到海外高端产品同等水平，目前可实现小批量生产供货。

量产工厂建设中，预计10月建成开车。

工厂将严格采用精益生产管理模式，配备百级洁净室，以确保生产的稳定性与超高洁净度，满足半导体行业标准。

除了芯片外，随着对终端产品性能要求的提升，硅片的清洗，也对清洗材质有了更高的要求，基于客户诉求，我们开发了系列以PVA胶棉为核心部件的晶圆接触式半导体清洗器件，目前正在多产品化开发过程中，部分半导体耗材及配件， 已实现相关CMP以及清洗设备厂商验证以及Fab厂供货。

欢迎相关企业与我们联系，我们将提供送样检测、小批量供货、定制开发、进口产品采购等系列服务。

“科技领先、睿智学习、迅速发展”的创造性公司——科睿迅：We Creation  

企业官网：www.wecreation.cn

联系方式：18621594296